精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。提供培训服务,让用户熟练掌握设备操作与维护要点。重庆恒温恒湿机组

光学仪器的生产对环境的洁净度、温湿度有着极其严格的要求,精密环控柜成为保障光学仪器高质量生产设备。在镜头研磨和镀膜工艺中,微小的尘埃颗粒都可能在镜头表面留下划痕或瑕疵,影响光线的透过和成像质量。精密环控柜配备的高效洁净过滤器,能够将空气中的尘埃颗粒过滤至近乎零的水平,为镜头加工提供超洁净的环境。同时,温度的精确控制对于保证研磨盘和镜头材料的热膨胀系数稳定一致至关重要。温度波动可能导致研磨盘与镜头之间的相对尺寸发生变化,使研磨精度受到影响,导致镜头的曲率精度和光学性能不达标。重庆恒温恒湿机组精密环控柜为我司自主研发的精密环境控制产品。

我司自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档,满足严苛温度需求。该系统洁净度表现优异,可达百级、十级、一级。关键区域静态温度稳定性 ±5mK,内部温度均匀性小于 16mK/m,为芯片研发等敏感项目营造理想温场,保障实验数据不受温度干扰。湿度方面,8 小时内稳定性可达 ±0.5%;压力稳定性为 +/-3Pa,设备还能连续稳定工作 144 小时,助力长时间实验与制造。在洁净度上,工作区洁净度优于 ISO class3,既确保实验结果准确可靠,又保障精密仪器正常工作与使用寿命,推动科研与生产进步。
光刻设备对温湿度的要求也极高,光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域,以实现对光刻胶的曝光,将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动,哪怕只是零点几摄氏度的变化,光刻机内部的精密光学元件就会因热胀冷缩特性而产生细微的尺寸改变。这些光学元件包括镜片、反射镜等,它们的微小位移或形状变化,会使得光路发生偏差。原本校准、聚焦于硅片特定坐标的光线,就可能因为光路的改变而偏离预定的曝光位置,出现曝光位置的漂移。主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成。

在电池制造流程里,电解液的注入环节堪称重中之重,其对温湿度的要求近乎严苛。哪怕是极其细微的温度波动,都可能引发电解液的密度与黏度发生改变。这看似不起眼的变化,却会直接干扰注液量的控制。一旦注液量出现偏差,电池内部的电化学反应便无法在正常状态下进行,导致电池容量大打折扣,使用寿命也大幅缩短。而当湿度攀升过高,空气中游离的水分便会趁机混入电解液之中。这些水分会与电解液的成分发生化学反应,生成一系列有害杂质。这些杂质会无情地腐蚀电池内部结构,严重破坏电池的稳定性与安全性,给电池的使用埋下诸多隐患。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。山东0.002℃恒温恒湿
涉及超高精度的环境要求,如±0.01-0.1℃,甚至更高要求,则需要在精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统。重庆恒温恒湿机组
在光学仪器的装配过程中,湿度的控制同样关键。湿度过高容易使光学镜片表面产生水汽凝结,形成水渍,不仅影响镜片的外观,还会降低镜片的光学性能。此外,高湿度环境还可能导致金属部件生锈腐蚀,影响仪器的结构稳定性和使用寿命。精密环控柜通过调节湿度,确保镜片在装配过程中始终处于干燥、洁净的环境中,有效避免了上述问题的发生。这使得生产出的光学仪器,无论是用于科研领域的显微镜、望远镜,还是用于工业检测的投影仪、测量仪等,都能具备光学性能和稳定性,满足不同行业对高精度光学仪器的需求。重庆恒温恒湿机组
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